探针台选型应用方面需要确认一下问题:
探针台选型应用方面需要确认一下问题:
1、最大需要测几英寸的晶圆或者器件?是否需要测试破片或者单颗芯片, 最小的单颗芯片尺寸?
2、探针台机械精度要求多高?
3、点测样品的电极尺寸?100um*100um或60um*60um的pad
4、最多需要几根探针同时去点测?
5、光学显微镜的最小分辨率需要用到多少?
6、探针点测时,对电流的要求是否达到100fa或者以下?是否有射频的需求?
7、测试仪器接口有哪些?
8、测试环境时是否会需要加热或者降温? 是否需要密闭腔体?
9、对chuck的漏电要求怎样?
10、是否需要防震桌?
11、若添置防震桌,是否有压缩空气?