D-300探针轮廓仪基本测量参数

 

　　· 台阶高度：几纳米至1000μm

 

　　· 低触力：0.5至15mg

 

　　· 视频：500万像素率彩色摄像头

 

　　· 梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真

 

　　· 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

 

　　· 紧凑尺寸：小占地面积的台式探针式轮廓仪

 

　　主要的应用

 

　　· 台阶高度：2D台阶高度

 

　　· 纹理：2D粗糙度和波纹度

 

　　· 形式：2D翘曲和形状

 

　　应用案例

 

　　台阶高度

 

　　D-300 探针式轮廓仪能够测量从几个纳米到1000μm的2D台阶高度。 Alpha-Step系列具有低触力功能，可以测量如光刻胶的软性材料(粘性的除外)

 

　　纹理：粗糙度和波纹度

 

　　D-300 测量 2D 纹理，量化样品的粗糙度和波纹度。 软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。

 

　　外形：翘曲和形状

 

　　D-300 可以测量表面的2D形状或翘曲。 这包括对晶圆翘曲的测量，例如在半导体或化合物半导体器件生产过程中，多层沉积层结构中层间不匹配是导致这类翘曲产生的原因。Alpha-Step 还可以量化包括透镜在内的结构高度和曲率半径。